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MEMS의 기초 (Foundations of MEMS , Chang Liu) 연습문제 솔루션

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작성일18-08-09 04:03

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그리고 1장의 한 부분을 발췌하면!(설계 부분에서는 수식이 나오나 여기서 나타내기에는 제한이 있으므로 책과 맞는지 확인하고 받으시길 바랍니다.
MEMS의 기초 (Foundations of MEMS , Chang Liu) 연습문제 솔루션


순서
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설명



SOLCpt01 Introduction

SOLCpt02 IntroFab

SOLCpt03E lecMechConcepts

SOLCpt04E lectrostatic

SOLCpt05 Thermal

SOLCpt06 Piezoresistive

SOLCpt07 Piezoelectric

SOLCpt08 Magnetic

SOLCpt09- Summary

SOLCpt10 FabBulk

SOLCpt11- 5FabSurface

SOLCpt12- 5PolymerMEMS

SOLCpt13- 2Fluidic

SOLCpt14-5 SPM

SOLCpt15-4O pticalMirror

SOLCpt16 ProcessIntegration

으로 구성 되어있습니다..^^)

Problems
Problem 1: Review
Read the following sections in the paper titled silicon as a mechanical material by Kurt
Petersen: Sections I, II, IV, VI, VIII [10]. The paper can be found in the library or on-line.
Problem 2: Review
Locate the following MEMS-specific journals and conference proceedings in your library or online:
(1) Sensors and Actuators (S&A); (2) Proceedings of IEEE Annual International Workshop
on Micro Electro Mechanical Systems (the name was changed to IEEE International Conference
on Micro Electro Mechanica












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솔루션/기계설계


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